Интегрированный толщиномер и поверхностная плотность CDM

Приложения

Процесс нанесения покрытия: оперативное обнаружение мелких деталей электрода; типичные мелкие детали электрода: отсутствие утечек тока коллектора, небольшая разница в сером по сравнению с нормальной областью покрытия, отказ идентификации ПЗС), царапины, контур толщины утонченной области, обнаружение толщины AT9 и т. д.

Написать нам письмо

Подробная информация о продукте

Теги продукта

Принципы измерения

Принципы измерения поверхностной плотности

Метод поглощения рентгеновских β-лучей

Принципы измерения толщины

Корреляция и лазерная триангуляция

Технические характеристики испытаний CDM

Сценарий 1: На поверхности электрода имеется пропуск/недостаток шириной 2 мм, и один край утолщён (синяя линия, как показано ниже). При размере пятна луча 40 мм влияние формы измеренных исходных данных (оранжевая линия, как показано ниже) выглядит явно меньшим.

Сценарий 2: данные профиля области динамического утончения шириной 0,1 мм

Возможности программного обеспечения

Технические параметры

Имя	Индексы
Скорость сканирования	0-18 м/мин
Частота дискретизации	Поверхностная плотность: 200 кГц; толщина: 50 кГц
Диапазон измерения поверхностной плотности	Поверхностная плотность: 10~1000 г/м²; толщина: 0~3000 мкм;
Повторение измерений точность	Поверхностная плотность: 16-секундный интеграл: ±2σ: ≤±истинное значение * 0,2‰ или ±0,06 г/м²; ±3σ:≤±истинное значение * 0,25‰ или +0,08 г/м²; 4s интеграл: ±2σ: ≤±истинное значение * 0,4‰ или ±0,12 г/м²; ±3σ: ≤±истинное значение * 0,6‰ или ±0,18 г/м²;Толщина: Зона 10 мм:±3σ: ≤±0,3мкм; Зона 1 мм: ±3σ: ≤±0,5мкм; Зона 0,1 мм: ±3σ: ≤±0,8мкм;
Корреляция R2	Поверхностная плотность >99%; толщина >98%;
Лазерное пятно	25*1400мкм
Класс радиационной защиты	Национальный стандарт безопасности GB 18871-2002 (исключение радиационного загрязнения)
Срок службы радиоактивных источник	β-излучение: 10,7 лет (период полураспада Kr85); рентгеновское излучение: > 5 лет
Время отклика измерения	Поверхностная плотность < 1 мс; толщина < 0,1 мс;
Общая мощность	<3 кВт