Суперрентгеновский прибор для измерения поверхностной плотности
Принципы измерения
При облучении электрода луч поглощается, отражается и рассеивается электродом, что приводит к определенному ослаблению интенсивности луча после прошедшего электрода по отношению к интенсивности падающего луча, а коэффициент его ослабления отрицательно экспоненциален относительно веса или поверхностной плотности электрода.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Начальная интенсивность луча
I: Интенсивность луча после передающего электрода
λ: Коэффициент поглощения измеряемого объекта
м: Толщина/плотность поверхности измеряемого объекта
Основные характеристики оборудования
Сравнение измерений с помощью полупроводникового датчика и лазерного датчика
● Измерение детальных контуров и особенностей: измерение контуров с миллиметровым пространственным разрешением и плотностью поверхности с высокой скоростью и точностью (60 м/мин)
● Ультраширокое измерение: адаптируется к ширине покрытия более 1600 мм.
● Сверхскоростное сканирование: регулируемая скорость сканирования 0–60 м/мин.
● Инновационный полупроводниковый детектор лучей для электродных измерений: в 10 раз более быстрый отклик по сравнению с традиционными решениями.
● Приводится в действие линейным двигателем с высокой скоростью и точностью: скорость сканирования увеличивается в 3-4 раза по сравнению с традиционными решениями.
● Разработанные нами высокоскоростные измерительные схемы: частота дискретизации до 200 кГц, что повышает эффективность и точность замкнутого контура покрытия.
● Расчет потери емкости при утонении: ширина пятна может составлять до 1 мм. Позволяет точно измерить такие детали, как контуры областей утончения кромок и царапины на покрытии электрода.
Программный интерфейс
Настраиваемое отображение основного интерфейса измерительной системы
● Определение зоны прореживания
● Определение мощности
● Определение царапин
Технические параметры
| Элемент | Параметр |
| Радиационная защита | Доза облучения на расстоянии 100 мм от поверхности оборудования составляет менее 1 мкЗв/ч. |
| Скорость сканирования | регулируемая 0-60 м/мин |
| Частота выборки | 200 кГц |
| Время ответа | ＜0,1 мс |
| Диапазон измерения | 10-1000 г/м2 |
| Ширина пятна | 1 мм, 3 мм, 6 мм (опционально) |
| Точность измерения | П/Т≤10%Интеграл за 16 секунд: ±2σ: ≤±истинное значение × 0,2‰ или ±0,06 г/м2; ±3σ: ≤±истинное значение × 0,25‰ или ±0,08 г/м2;Интеграл за 4 секунды: ±2σ: ≤±истинное значение × 0,4‰ или ±0,12 г/м2; ±3σ: ≤±истинное значение × 0,6‰ или ±0,18 г/м2; |
